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  公司提供衬底材料为蓝宝石,Si,GaN,SiC的外延生长,载气包括氢气、氮气; MO源包括镓、铟、铝、镁、硅; 氮源有氨气。
  外延生长是在单晶衬底(基片)上生长一层有一定要求的、与衬底晶向相同的单晶层,犹如原来的晶体向外延伸了一段,故称外延生长。

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